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電子行業用水

電子行業用水(shuǐ).jpg

一、行業簡(jiǎn)介
        半導(dǎo)體、集成電路芯片及封裝、液晶顯示(shì)、高精度線路板、光電器件、各種電子器件、微電子工業、大規模、超大規模集成電路需用大量的純水、高純水、超純水清洗半成品、成品。集成電路的集成度越高,線寬越窄,對水質的要求也(yě)越高。目前我國電子工業部把電子級(jí)水質技術分為五個行業等級,分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm,以區分不同水質。
二、應用範圍
1、電子(zǐ)、電力、電鍍、照明電器、實驗室(shì)、食品、造紙、日化、建材、造漆、蓄電池、化驗、生物、製(zhì)藥、石油、化工、鋼鐵、玻(bō)璃等領域。
2、化工工藝用水、化學藥劑、化妝品等用(yòng)純水。
3、單晶矽、半導體晶片切割製造(zào)、半導體芯片、半(bàn)導體封裝 、引(yǐn)線(xiàn)櫃架、集成電路、液晶顯示器(qì)、導電玻璃、顯像管、線路(lù)板、光通信、電腦元(yuán)件、電容器潔淨產品及各種元器件等生產工藝用純水。
三(sān)、工藝簡介
1、係統模塊化設計,共分四(sì)部分:預處理(lǐ)係統、反滲透係統(tǒng)、EDI係統、終端(duān)供(gòng)水係統。
2、預處(chù)理係(xì)統主要用(yòng)來(lái)去(qù)除原水中的懸(xuán)浮物、濁度、色度、膠體以及部分有(yǒu)機物,保證產(chǎn)水符(fú)合反滲透係統的進水水質要求。
3、反滲透係(xì)統主要用來去除原水中溶解性鹽類(lèi)物質、細菌(jun1)、熱源等,保證(zhèng)產水符合EDI係統進水水質要(yào)求(qiú)。
4、EDI係統主要用來對反滲透產水進行(háng)進一步脫除溶解性的小分子鹽類物質,產水達到電阻率達到15MΩ.cm以上(shàng)。
5、終端供水係統主要是用來將合格水輸送(sòng)至用水點,輸送過程中對EDI產生進行最後的離子交換脫鹽,使(shǐ)得產水達到電阻率達到18MΩ.cm以上。
6、整個係統進行集中控製。

四、技術特色
1、係統模塊化設計,占地麵積小,操作維護方便,安裝方便快捷,整體美觀。
2、整套係(xì)統實現全自動化運行,並且手動與自動自(zì)由切換。
3、設備產水水質穩定,運行連續穩定。
4、係統工藝先進,無需(xū)化學藥(yào)品再(zài)生,無危害性廢液排放。
5、係統(tǒng)節水率高,係統回收率在75%以上。
6、關鍵(jiàn)部位(wèi)采用在線儀(yí)表監測,適時數據上傳(chuán)。
五、設備參數
1、係統回收率:
        超濾≥90%
        一級反滲透(tòu)≥75%
        二級反滲透≥85%
        EDI係統≥90%
2、設備產水(shuǐ)符合《電子超純水國家標(biāo)準》 (GB/T1144.6.1-1997)或美國半導體工業純水(shuǐ)指標。
3、單(dān)支膜脫鹽率≥99.5%(水溫25℃)。

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